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不銹鋼背板 不銹鋼背板通常適用于旋轉(zhuǎn)靶的背管,成本較低且可回收利用。 背板材料的選擇需考慮以下因素: 背板材料和靶材的熱傳遞性; 導(dǎo)電性; 抗冷卻水壓的機(jī)械性能及熱循環(huán)效果; 重復(fù)利用性。 背板的作用: 在濺射過(guò)程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料; 在濺射過(guò)程中起到熱傳遞的作用。
不銹鋼背板 不銹鋼背板通常適用于旋轉(zhuǎn)靶的背管,成本較低且可回收利用。
背板材料的選擇需考慮以下因素: 背板材料和靶材的熱傳遞性; 導(dǎo)電性; 抗冷卻水壓的機(jī)械性能及熱循環(huán)效果; 重復(fù)利用性。
背板的作用: 在濺射過(guò)程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料; 在濺射過(guò)程中起到熱傳遞的作用。
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