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銅背板
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銅背板

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材料信息:

無氧銅背板

無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。


背板材料的選擇需考慮以下因素:
背板材料和靶材的熱傳遞性;
導電性;
抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果;
重復利用性。

背板的作用:
在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料;
在濺射過程中起到熱傳遞的作用。


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