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材料信息: 無氧銅背板 無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。 背板材料的選擇需考慮以下因素: 背板材料和靶材的熱傳遞性; 導電性; 抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果; 重復利用性。 背板的作用: 在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料; 在濺射過程中起到熱傳遞的作用。
材料信息:
無氧銅背板
無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。
背板材料的選擇需考慮以下因素: 背板材料和靶材的熱傳遞性; 導電性; 抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果; 重復利用性。
背板的作用: 在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料; 在濺射過程中起到熱傳遞的作用。
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